SERVICEテストウエハー販売

テスト用ウエハーとはダミーウエハーやモニターウエハーとも呼ばれています。
製造業や半導体産業などで使用されるテスト用の基板のことを指します。
ウエハーは、半導体素子が製造される前段階で、薄く切られたシリコンやその他の材料の円盤状の基板です。
これに対して、テスト用ウエハーは製品として出荷される前に、製造プロセスや性能をテストするために使用される特別な基板です。
テスト用ウエハーは、製品の品質確認やプロセス改善などに重要な役割を果たします。

モニター＆ダミーウエハー

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
製法   CZ/FZ
タイプ P or N
ドーパント B / P / As / Sb / ノンドープ
結晶方位 <100> / <111> / <110>
厚み、公差 μm 280±25 380±25 525±25 525±25 625±25 725±25 775±25
抵抗値 Ωcm 1-100
オリフラ オリフラ オリフラorノッチ ノッチ
パーティクル Lv ≧0.3μm≦10ea / ≧0.2μm≦30ea / ≧0.2μm≦50ea
面状態   片面ミラー / 両面ミラー 両面ミラー
数量 lot 25枚-100枚
梱包形態   ウエハーケース＋クリーンパック
備考 各種膜付けなど詳細仕様は別途お問合せください。
※研究用などの特殊加工ウエハーも取り扱っております。

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